Какие поломки быть у вакуумметра ионизационно термопарный

Термопарный вакуумметр

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

К проведению лабораторной работы № 3

«ИЗМЕРЕНИЕ ВАКУУМА ПРИ ПОМОЩИ ТЕРМОПАРНОГО И ЭЛЕКТРОННОГО ИОНИЗАЦИОННОГО ВАКУУММЕТРОВ»

по дисциплине «Физические основы вакуумных технологий «

Цель: изучение принципов действия термопарного и электронного ионизационного вакуумметров и приобретение навыков работы с этими приборами.

Общие и теоретические сведения

Термопарный вакуумметр

Термопарный вакуумметр относится к классу тепловых вакуумметров, принцип действия которых основан на зависимости теплопроводности разреженного газа от давления (рис.1, кривая 1).

Термопарные вакуумметры впервые были описаны в 1906 г. Ф. Феге и М. Пирани. Они широко используются в вакуумной технике и в настоящее время.

Из кинетической теории известно, что коэффициент теплопроводности газа в низком вакууме определяется выражением :

l_{т =} с_n r v_а (1)

где: с_n— удельная теплоемкость при постоянном объеме;

v_а — среднеарифметическая скорость теплового движения молекул газа;

r — плотность газа;

— средняя длина пути молекул газа.

Как видно из (1) , теплопроводность газа определяется произведением r . Однако, поскольку r

Р, а

Р -1 , теплопроводность практически не зависит от его давления Р в низком вакууме, т.е. от 10 5 Па (750 Торр) до 10 4 -10 3 Па (10 2 -10 Торр). Следовательно, в этом интервале давления тепловые вакуумметры непригодны для измерения давления. Это верхний предел измерения Р.

При более низких давлениях, т.е. в области среднего и высокого вакуума, теплопроводность газа существенно зависит от давления:

= (2)

где: L — расстояние между нагретыми поверхностями;

Эта зависимость и используется для измерения давления при помощи тепловых вакуумметров в области среднего вакуума и переходе к высокому вакууму (Р

Термопарный вакуумметр, как и большинство вакуумметров других классов, состоит из двух основных частей — преобразователя давления (ПД) и измерительного блока (ИБ).

ПД – устройство, которое вакуумноплотно присоединяется к вакуумной камере, воспринимает непосредственно измеряемое давление и преобразует его в другую физическую величину. ИБ – устройство, обеспечивающее требуемый электрический режим работы ПД, усиление и измерение его выходного сигнала.

Преобразователь давления теплового вакуумметра представляет собой баллон (чаще — из стекла), внутри которого расположен чувствительный элемент (тонкая нить из металлического сплава). Через нить пропускают ток, под влиянием которого она нагревается до температуры Т₁. При понижении давления теплопроводность газа уменьшается, теплоотвод от нити становится меньше и она нагревается до более высокой температуры Т₂ (рис.1, кривая 2). Изменение температуры нити фиксируют в термопарном вакуумметре при помощи термопары — соединенных вместе двух тонких проволочек из разнородных металлов или сплавов, подключенных к электроизмерительному прибору (милливольтметру). Если температура участка, в котором они соединяются, отличается от температуры свободных концов проволочек (Т₀), то прибор зафиксирует возникновение термоэлектродвижущей силы (термоэдс e_т), пропорциональной разности температур:

где: a- удельная термоэдс, зависящая от материалов термопары.

Устройство преобразователя давления термопарного вакуумметра (манометрической лампы ПМТ-2) изображено на рис.2. Нагреватель 3 приварен к внешним вводам 6. По нагревателю пропускают электрический ток I_н от измерительного блока. Величину I_н регулируют при помощи потенциометра R₂ и измеряют электроизмерительным прибором. Термопара 5 приварена к внутренним вводам 7. Термопара имеет тепловой контакт с нагревателем через перемычку 4. Возникающую термоэдс e_т, как отмечалось выше, измеряют при помощи милливольтметра. Поскольку e_т изменяется от долей милливольта до 10 мВ, а I_н составляет обычно величину

100мА, то для косвенного измерения I_н можно использовать один и тот же милливольтметр mv, измеряя падения напряжения ∆ν на сопротивлении R₁ ≈ 100 Ом: I_н = ∆U/ R₁. При измерении I_н переключатель устанавливают в положение ТОК НАГРЕВАТЕЛЯ. Как уже указывалось, в области высоких давлений теплопроводность почти не зависит от давления, поэтому температура нагревателя и, следовательно, измеряемая термоэдс e_т не изменяются. При понижении Р теплопроводность газа падает, температура нагревателя возрастает, что и фиксируется при помощи термопары. При уменьшении давления Р ниже 10 -1 — 10 -2 Па (10 -3 -10 -4 Торр) потери тепла нагревателем за счет теплопроводности газа становятся соизмеримыми с тепловыми потерями из-за теплопроводности по вводам и через излучение. Поэтому температура нагревателя перестает увеличиваться при дальнейшем понижении давления. Этим и определяется нижний предел измерений давления тепловым, и в частности,- термопарным вакуумметром.

Следует иметь в виду, что по методу измерения тепловые вакуумметры относятся к вакуумметрам косвенного действия, т. к. принципы их работы основаны на зависимости теплопроводности газа от давления. Поскольку для разных газов эта зависимость отличается, показания тепловых вакуумметров определяется родом газа. Обычно вакуумметр градуируют по воздуху, а давление Р_г других газов рассчитывают по формуле:

где: Р_в— давлене воздуха, q – коэффициент относительной чувствительности вакуумметра, зависящей от рода газа (табл.1).

Таблица 1. Коэффициент относительной чувствительности теплового вакуумметра для некоторых газов

Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Вакуумметр ионизационно-термопарный

Вакуумметр ионизационный — термопарный типа ВИТ-1 и ВИТ-1-П 413 [c.413]

Вакуумметр ионизационно-термопарный ВИТ-1 и его более поздняя модификация ВИТ-1А представляют собой измерительные комплекты, состоящие из блоков для одновременной работы [c.163]

Вакуумметр ионизационный—термопарный типа ВИТ-1 и ВИТ-1-П, Тех- [c.446]

Ионизационно-термопарный вакуумметр ВИТ-1А (рис. 142). Этот вакуумметр измеряет давления с помощью двух датчиков ионизационного ЛМ-2 в диапазоне 5-10 —1-10 мм рт. ст. и термопарного ЛТ-2 (или ЛТ-4М) в диапазоне 10″ — Ь 10 жл рт. ст. Работа ВИТ-1 А сдатчиком ЛТ-2 (или ЛТ-4М) аналогична работе вакуумметра ВТ-2А в диапазоне давлений Ь 10 —Ь 10 мм рт. ст. [c.168]

I — баллоны с газом 2 — фильтр с цеолитом 3 — фильтр с медной стружкой 4 — ротаметр 5 ртутный вакуумметр 6 — рабочая камера диаметром 180 мм и высотой 200 мм 7 — анод 8 — азотируемый образец (катод) 9 — термопара 10 — балластное сопротивление // — выпрямитель /2 — повышающий трансформатор 3 — регулятор напряжения 14 — вакуумный насос 15 — вакуумметр ионизационно-термопарный 16 — переключатель /7 — потенциометр [c.108]

Па благодаря использованию механического масляного насоса, и высоковакуумной ступени, обеспечивающей перепад от 1 до 10- Па с помощью диффузионных паромасляных насосов. Измерение вакуума производится ионизационно-термопарными вакуумметрами. [c.139]

Для измерения и питания применяют вакуумметры ВТ-2А (термопарный), ВТ-3 (термопарный), ВИТ-1А и ВИТ-2 (ионизационно-термопарные). Если требуется определить давление различных газов, то с точностью до 20% можно пользоваться градуировочной кривой, полученной для воздуха. Для этого умножают значения, найденные по градуировочной кривой, на коэффициент д [15] [c.530]

Ионизационно-термопарный вакуумметр [c.206]

Ионизационно-термопарный вакуумметр ВИТ-1А измеряет давления с помощью датчика ЛМ-2. Диапазон давлений, измеряемых этим прибором, от 2-10 до 5-10 мм рт. ст. Ионизационная часть прибора измеряет давле- [c.537]

Безртутные манометры. Наличие паров ртути в рабочей части адсорбционных установок часто бывает недопустимо. Наибольшую трудность представляет замена ртутных манометров другими приборами ДЛЯ измерения давлений. Если контроль за степенью откачки адсорбента вполне удовлетворительно может быть осуществлен, например, ионизационно-термопарными вакуумметрами ВИТ-1, ВИТ-2 или ВИТ-3, работающими в пределах давлений от 10- до 1 мм, то для достаточно точного измерения давлений от 1 до 800 мм рт. ст. практически нет стандартных приборов, выпускаемых промышленностью. Имеющиеся безртутные заводские манометры абсолютного давления МАС-ЭЗ не обеспечивают измерение давления точнее, чем 0,5 мм. рт. ст., и, кроме того, имеют большой мертвый объем. [c.28]

К манометрическим датчикам выпускают измерительные блоки. Например, ВИТ-1 (вакуумметр ионизационный и термопарный) может работать совместно с датчиками ЛТ-2 и ЛМ-2. С датчиком ИМ-12 выпускается измерительный блок ВИ-12. [c.10]

Радиоизотопный блокировочный самопишущий вакуумметр представляет собой измерительную установку, работающую в комплекте с радиоизотопным манометрическим преобразователем ПМР-2, термопарными преобразователями ЛТ-2 или ЛТ-4М и ионизационным преобразователем ЛМ-2. [c.188]

В настояш,ее время промышленностью изготовляется аппаратура для измерения низких давлений, состоящая из смонтированных в одном приборе манометра (сопротивления, термопарного или ионизационного), измерительной схемы и измерительных приборов, переключателей и т. д. Эти приборы в целом также стали называть манометрами или вакуумметрами. [c.58]

Для измерения более низких давлений применяются ионизационные манометры, которые градуируются так же, как и теплоэлектрические, по компрессионному манометру. Уже упоминавшийся вакуумметр ВИТ-1 является комбинированным и, кроме термопарной лампы, включает ионизационную лампу-датчик ЛМ-2 (фиг. 148, б), который позволяет расширить диапазон измеряемых давлений от 10 до 5-10 мм рт. ст. Специальным ионизационным вакуумметром, применяемым совместно с датчиком ЛМ-2, является также прибор ВИ-3. [c.325]

Советской промышленностью выпускается комбинированный (термопарный и ионизационный) манометр-вакуумметр типа ВК-1, прекрасно зарекомендовавший себя в работе. (Прим. общ. ред.) [c.374]

Вакуум измеряют ионизационно-термопарным вакуумметром (наи имер, ВИТ-1) 10, датчиком для которого служат лампы тина ЛТ-2 и ЛМ-2, связанные с вакуумной системой. Остаточное давл1 ние в ,иапазоне мм рт. ст. измеряют при помощи [c.263]

Вакуумная система (рис. 2) предназначена для создания разрежения в вакуумной камере калориметрического устройства (рис. I). В системе используются форвакуумный 1 и диффузионный наромасляный 2 насосы. Все соединительные трубки, краиы н снльфоны системы металлические. Форвакуумный насос ( ВН-461 М) обеспечивает разрежение до 0,1—0,2 Па, а диффузионный (Н-1С-2)—от 7-10 з до 2-10 Па, чему способствует металлическая ловушка 3, охлаждаемая жидким азотом. Степень разрежения контролируется термопарной (ПМТ-2) и ионизационной (ПМИ-2) лампами 4 и ионизационно-термопарным вакуумметром ВИТ-2. Камера 5 — цилиндрический сосуд, емкостью 5-10 » м , заполняется теплообменным газом (гелием), необходимым на слу- [c.90]

Важнейшей частью этих весов является кварцевая спиральная пружина, находящаяся в стеклянном кожухе (поз. 7). Пружина оканчивается двумя крючками. Верхним крючком она через систему подвесов крепится к неподвижному крючку колбы. Иа нижнем крючке ее подвешена чашечка с навеской адсорбента. Растяжение пружины пропорционально массе поглощенного вещества и фиксируется по положению чашечки с помощью отсчетного мпкроскопа — катетометра. Нижняя часть кожуха с пружинкой помещается в термостат 8. Регенерация образца адсорбента (удаление ранее поглощенного вещества) производится его длительной откачкой при остаточном давлении порядка 1-10″ Па (1-10 5 мм рт. ст.) с одновременным нагревом. Максимально допустимая температура нагрева определяется природой адсорбента обычно она составляет 350 °С в случае цеолита илп угля, 200 °С — в случае силикагеля. Вакуум в системе создается двумя последовательно включенными насосами форвакуумным насосом 1 п насосом глубокого вакуума 2. Для измерения давления в системе предусмотрены две лампы, термопарная и ионизационная, соединенные с вакуумметром, например ВИТ-1. Периодическая проверка показаний прибора производится по манометру Мак-Леода 4. Равновесное давление газа (пара) в системе измеряется манометром Мак-Леода или ртутным манометром 5, снабженным отсчетЕым микроскопом. Точность измерения давления манометром 5 составляет около 6 Па (5-10-2 мм рт. ст.). [c.39]

Для измерения давления от 0,1 МПа до 1,3 10 Па (от 760 до 10 мм рт ст) в лабораториях применяют компрессионные манометры — различные разновид ностн манометра МаклеоДа Для их заполнения тре буется ДО нескольких килограммов ртути, поэтому при аварии они представляют серьезную опасность Не которые конструкции манометров Маклеода не отвеча ют современным требованиям техники безопасности Учитывая эти обстоятельства, следует но возможности заменять в лабораториях стеклянные вакуумметры, содержащие большое количество ртути, на безопасные и удобные в работе теплоэлектрические вакууммет ры (термопарные и вакуумметры сопротивления), электроразрядные, а также ионизационные вакууммет ры (электронно ионизационные и радноизотопиые) [34] [c.268]

Давление паров большинства кристаллических органических веществ бывает низким, обычно много ниже атмосферного давления, так что особую важность приобретают методы измерения давления в области от 0,1 до 10 атм. Для этих целей было разработано много устройств и методов, частично рассмотренных в обзорах Партингтона [536] и Милацо [436]. Давление ниже 1 мм рт. ст. измеряется обычными ионизационными приборами различных типов, термопарными, термисторными и другими вакуумметрами, основывающимися на измерении сопротивления. Бейнон и Николь-сон 167] применили для этого ионизационный прибор, в котором для ионизации газа используются заряженные частицы (альфа-частицы от радиоактивного источника). При низких давлениях необходимо остерегаться ошибок, связанных с термической транспирацией, которая может иметь место, когда средний свободный путь молекул пара становится сравнимым с диаметром используемых в системе трубок [165]. Абсолютная калибровка таких устройств, необходимая для точных измерений давления, затруднительна, но наклон кривых давления пара может быть измерен достаточно точно, так что энтальпия сублимации определяется вполне надежно. [c.38]

Магнитный (электроразрядный) вакуумметр, как и описанные ранее термопарный и ионизационный, состоит из манометрической лампы и вторичного прибора. В СССР выпускается магнитный вакуумметр типа ВМБС-1, работающий с датчиком ММ-8. Пределы его измерения 1,0—1-10 мм рт. ст. Вакуумметр комплектуется записывающим прибором и имеет блок-контакты, которые могут использоваться для сигнализации или регулирования. [c.47]

Система откачки печи включает два форвакуумных насоса ВН-1Г и ВН-4Г, два бустернык насоса БН-1500, четыре вымораживающие ловушки две — работающие на жидком азоте и две — на твердой углекислоте. Вакуум замеряется термопарным и ионизационным вакуумметрами, работающими от соответствующих датчиков, расположенных в различных точках вакуумной системы. [c.20]

Универсальный комбинированный вакуумметр ВИТ-3 работает с термопарными датчиками или с ионизационными — ЛМ-2, ЛМ-3-2 и МИ-10. Диапазон измерения от 0,8 до 10″ мм рт. ст. Прибор имеет линейную и логарифмическую шкалу, что делает его пригодным для авторегистрации. Для установок, где наличие местных электрических или магнитных полей или излучений исключает применение типовых вакуумметрических средств, созданы ионизационные вакуумметры, устойчивые к помехам. Разработан устойчивый к помехам вакуумметр с пределами измерения 10″ —10″ мм рт.ст., создается прибор с нижним порогом измеряемых давлений 10″ мм рт. ст [13]. [c.538]

Измеряют давление в рабочем объеме термопарным вакуумметром 5. Создав требуемый вакуум, открывают затвор 3 и клапан 13, закрывают клапан 11 и откачивают диффузионную магистраль насоса 1. После восстановления вакуума в системе, понизивщегося за счет воздуха, находящегося в объеме диффузионного насоса 1 и его магистрали, включают этот насос, предварительно подав воду для охлаждения его корпуса. Одновременно начинают охлаждать жидким азотом ловушку 2. После достижения необходимого предельного разрежения порядка 5 10″ Па, которое измеряется ионизационным вакуумметром 6, приступают к проведению технологического процесса нанесения тонких пленок (обычно при рабочем давлении порядка 10 Па). [c.79]

Смотреть страницы где упоминается термин Вакуумметр ионизационно-термопарный: [c.330] [c.189] [c.323] [c.164] [c.184] [c.231] [c.141] [c.413] [c.109] [c.47] [c.50] [c.104] [c.268] [c.79] Техника лабораторных работ (1982) — [ c.206 ]

Какие поломки быть у вакуумметра ионизационно термопарный

Вакуумметр ВИТ-2 с лампами ПМТ-2, ПМТ-4М и ПМИ-2

Манометром называют прибор для измерения давления газа или жидкости. Приборы для измерения давления ниже атмосферного называются вакуумметрами. Диапазон давлений, которые имеют место в вакуумной технике, составляет семнадцать порядков: от атмосферного до 10 -12 Па.

Величина диапазона настолько значительна, что его измерение одним типом вакуумметра невозможно. Разработано большое количество типов вакуумметров, работающих в своём диапазоне, определяемом физикой преобразования давления.

Компрессионные и деформационные вакуумметры относятся к приборам прямого действия. Их показания не зависят от рода газа, т.е. они измеряют непосредственно давление газа, поэтому их часто называют абсолютными. Остальные типы вакуумметров относительные, так как в их работе используется зависимость параметров физических процессов от давления в вакуумной системе. Неабсолютные вакуумметры обычно состоят из манометрического преобразователя и измерительного блока. Они подвергаются периодической градуировке по компрессионному вакуумметру или на специальной градуировочной установке.

Тепловые вакуумметры. Тепловые вакуумметры состоят из измерительного блока и преобразователя. Принцип действия тепловых преобразователей основан на зависимости теплопередачи через разреженный газ от давления. Передача теплоты происходит от тонкой металлической нити к баллону, в котором расположена электродная система преобразователя. Металлическая нить нагревается в вакууме путем пропускания тока. К тепловым относятся термопарный преобразователь и преобразователь сопротивления.

Компания Вактрон предоставляет возможность приобретения со склада одного из самых популярных в России вакуумметров ионизационно-термопарного ВИТ 2 в портативном исполнении и ВИТ 2П в виде встраиваемой панели. В наличии также имеются манометрические преобразователи к нему.

Вакуумметр ионизационно-термопарный ВИТ 2 предназначен для измерения давления в диапазоне 1 . 10 -5 — 20 Па. ВИТ-2 эксплуатируется в комплекте с термопарными (ПМТ-2, ПМТ-4М) и ионизационными (ПМИ-2) манометрическими преобразователями.

Диапазон измерения давлений:

• при работе с ионизационным преобразователем ПМИ-2: 10 -3 — 10 -7 мм рт. ст.
• при работе с термопарными преобразователями ПМТ-2, ПМТ-4М: 2 . 10 -1 – 1 . 10 -3 мм рт. ст.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУММЕТРА ВИТ 2

1. Диапазон измеряемых токов манометрического преобразователя ПМИ-2: 1 . 10 -4 – 1 . 10 -9 А
2. Отсчет давления (ионизационная часть): по стрелочному индикатору (5 поддиапазонов)
3. Основная погрешность при измерении давления ионизационной частью вакуумметра в диапазоне 1 . 10 -3 – 1 . 10 -7 мм рт. ст.: не более +30%
4. Номинальный ток эмиссии (для ПМИ-2): 0.5 мА
5. Пределы регулировки тока эмиссии (для ПМИ-2): 0.35 — 0.8 мА
6. Номинальное напряжение анод-корпус(для ПМИ-2): 250+5 В
7. Номинальное напряжение катод-корпус(ПМИ-2): 50+1.5 В
8. Пределы регулировки тока нагревателя термопарных преобразователей: 95-150 мА
9. Время непрерывной работы: 8 ч
10. Наработка на отказ измерительного блока: 2000 ч
11. Потребляемая мощность: 75 Вт
12. Габаритные размеры: 320х285х230 мм
13. Масса не более 11 кг.

Термопарный преобразователь представляет собой стеклянный или металлический баллон, в котором на вводах смонтированы подогреватель и приваренная к нему термопара. Подогреватель нагревается током, регулируемым переменным сопротивлением. Температура нагреваемой нити измеряется термопарой. При неизменном токе накала нити вследствие изменения давления в баллоне преобразователя, присоединенном к вакуумной системе, изменяется температура нити и, соответственно, термо-ЭДС, по величине которой определяют давление.

Преобразователь манометрический термопарный ПМТ-2

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МАНОМЕТРИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ПМТ-2

1. Рабочий диапазон давлений: 5х10 0 — 1х10 -3 мм рт. ст. (666.6 – 1.33х10 -1 Па)
2. Диапазон изменения эдс термопары:0-10 мВ
3. Диапазон установки тока нагревателя:100-140 мА
4. Сопротивление термопары:7 ± 1 Ом
5. Отклонение индивидуальной градуировочной кривой от типовой в диапазоне давлений 1х10 -1 — 1х10 -3 Торр, не более:±20%
6. Отклонение индивидуальной градуировочной кривой от типовой в диапазоне давлений 1-5 Торр, не более:±40%
7. Гарантийная наработка:500 ч
8. Габаритные размеры:Ø34х265 мм
9. Диаметр штенгеля:16.3 мм

Преобразователь манометрический термопарный ПМТ-4М

Отличается наличием металлического корпуса. Благодаря металлическому корпусу, ПМТ-4М (преобразователь манометрический термопарный) имеет ряд преимуществ перед ПМТ-2. К вакуумному объёму присоединяется либо при помощи грибкового (компрессионного) соединения, либо при помощи сварки.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МАНОМЕТРИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ПМТ-4М

1. Рабочий диапазон давлений: 5х10 -1 — 1х10 -4 мм рт. ст. (66.660 – 0.01333 Па)
2. Диапазон изменения эдс термопары: 0-10 мВ
3. Диапазон установки тока нагревателя: 100-140 мА
4. Сопротивление термопары: 6-8 Ом

Ионизационные вакуумметры. Ионизационные вакуумметры относятся к неабсолютным вакуумметрам. Они состоят из измерительного блока и преобразователя, соединенных электрическим кабелем. Принцип действия ионизационных преобразователей основан на пропорциональности между давлением в баллоне преобразователя и ионным током, образованным ионизацией остаточных газов. Ионизационные преобразователи подразделяются на электронные, в которых ионизация газа осуществляется термоэлектронами; магниторазрядные, где измеряемое давление пропорционально разрядному току в магнитном поле.

Преобразователь манометрический ионизационный ПМИ-2

ПМИ-2 (преобразователь манометрический ионизационный) благодаря низкой стоимости является самым распространённым в России ионизационным датчиком. К вакуумному объёму присоединяется либо при помощи грибкового (компрессионного) соединения, либо при помощи спая стекло-металл.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МАНОМЕТРИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ПМИ-2

1. Рабочий диапазон давлений: 1х10 -3 – 1х10 -7 мм рт. ст. (0,13 – 0,13 х 10 -4 Па)
2. Постоянная преобразователя C при токе эмиссии Ie=5 мА: С=(8,7±1,7) Торр/А ((1,16±0,23)10-3 Па/А)
3. Постоянная преобразователя C при токе эмиссии Ie=0,5 мА: С=(8,7±17) Торр/А ((11,6±2,3)10-3 Па/А)
4. Гарантийная наработка: 500 ч
5. Габаритные размеры: Ø34х265 мм
6. Диаметр штенгеля: 16.3 мм

Свежие новости

Курс повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники» 12 – 14 ноября 2019

Знание – это основа производственной культуры. Для квалифицированной эксплуатации вакуумных систем и грамотной организации процесса контроля герметичности продукции специалист должен проходить регулярное обучение.

Дополнительная профессиональная образовательная программа «Основы течеискания и вакуумной техники» была подготовлена ​​преподавателями по направлению вакуумных технологий в университете ЛЭТИ и аттестоваными в области контроля герметичности специалистами ВАКТРОН.

Этот курс повышения квалификации образования содержит:

• информацию о действующих нормативных документах, методиках и инструкциях;
• материалы тренингов по эксплуатации и ремонту вакуумной техники;
• опыт специалистов по разработке систем контроля герметичности в России.

Портативный гелиевый течеискатель ВАКТРОН X1

Сегодня проведем настройку и проверку портативного гелиевого течеискателя. Данный прибор обладает массой всего 320 г, 8 часов работает от встроенной батареи, способен анализировать потоки до 10-5 миллибар литр в секунду. У него два режима чувствительности: высокочувствительный и низкочувствительный, позволяющий индицировать большие потоки гелия.
Для настройки таких приборов мы используем контрольные гелиевые течи. Это резервуар, который заполнен гелием под давлением 11 атмосфер и выдающий на выходе поток течи порядка 10-4 миллибар литр в секунду. Проверим её истечение с помощью поверенного и внесённого в реестр средств измерений масс-спектрометрического течеискателя.
На экране данного прибора можно увидеть индикацию 1,7.10-4 миллибар литр в секунду. Поднесем теперь течь к нашему партитивному прибору X1.
У течеискателя X1 индикация чуть больше – 6,8.10-4 миллибар литр в секунду. У второго портативного течеискателя индикация– 4,3.10-4 миллибар литр в секунду.
Данные о настройке каждого из приборов заносятся в протокол настройки, где сравниваются поток истечения, измеренный с помощью масс-спектрометрического течеискателя и с помощью портативного.
Если отклонение не превышает заданное производителем, на прибор Х1 выдается протокол настройки, который позволяет использовать течеискатель метрологически точно. Рекомендуется проводить данную калибровку и настройку раз в год.
При необходимости поставки на ваше предприятие портативных гелиевых течеискателей ВАКТРОН Х1 просим обращаться в компанию ВАКТРОН.

Как выбрать мембранный насос

ВАКТРОН представляет японские малогабаритные вакуумные насосы ULVAC. Это мембранные насосы, и они полностью безмасляные. Они позволяют получать разряжение до 1000 паскалей в стандартном исполнении и до 100 паскалей в специальном, более высоковакуумном исполнении. Наиболее стандартной является модель ULVAC DA, например насос DA-20, что означает 20 литров в минуту.
Также перед вами насос ULVAC DA-60 с быстротой откачки 60 литров в минуту. Его предельное давление 20 килопаскалей. Для специальных применений, например для откачки коррозийных газов и активных сред, используются насосы в коррозионностойком исполнении – ULVAC DTC, например модель DTC-22.
Насос ULVAC DTC устойчив к активным газам и загрязнениям. Он используется, например, в составе комплексов туалетов в железнодорожном транспорте для того чтобы откачивать активные загрязняющие вещества, содержащие аммиак и очистители. Насос ULVAC DAU-20D отличается более низким предельным давлением – 200 паскалей. Его быстрота откачки – 20 литров в минуту. Он также выполнен в антикоррозийном исполнении и способен откачивать активные газы.

Поиск утечки в трубопроводе

Лаборатория «ВАКТРОН» проводит работы по поиску мест нарушения герметичности подземного газопровода. Данный газопровод имеет ДУ 250 мм, его длина 400 м. Необходимо найти течь, которая скрыта под землёй.

Мы используем гелий в качестве контрольного газа. Потребовалось 5 баллонов на объем трубы 85 м3. Далее общее давление было повышено с помощью компрессора.

Был проведен анализ точек выхода гелия из земли наружу с помощью поверенных приборов. Обнаружили течь в районе перекрестка, она указана заказчику и будет устранена.

При необходимости в поиске места нарушения герметичности подземных трубопроводов, будем рады вашему обращению компанию Лаборатория ВАКТРОН.

Азотная ловушка ВАКТРОН P300

Компания Вактрон представляет вакуумные азотные ловушки. Данное устройство предназначается для снижения остаточного давления в вакуумной камере и для защиты от паров жидкостей. Азотная ловушка работает следующим образом: во внутреннюю колбу азотной ловушки заливается жидкий азот, внутренняя колба охлаждается.

К ее стенкам в вакууме начинают прилипать частицы остаточных газов, пары воды и других жидкостей, содержащиеся в вакуумируемом объеме. Это приводит к падению давления на один-два порядка. Азотные ловушки производятся в Санкт-Петербурге, при изготовлении они проходят проверку герметичности, которая подтверждает отсутствие течей и позволяет применять данные приборы в высоковакуумных системах.

В комплекте поставки азотной ловушки есть заключение о контроле герметичности, заправочная воронка из нержавеющей стали и комплект аксессуаров для подключения азотной ловушки к вакуумной камере. При необходимости в поставке азотной ловушки на ваше предприятие просим Вас обращаться в компанию Вактрон.

Контроль герметичности МРТ

Специалисты аттестованной лаборатории контроля герметичности компании ООО «Лаборатория «Вактрон»» (свидетельство об аттестации №95A050155) провели работы по исследованию утечки газообразного гелия в криосистеме: криокомпрессор – газ.линии – холодная голова МРТ Siemens Symphony 1.5Т, установленному в г. Санкт-Петербург. Даты проведения исследований – ночь с 20 на 21 июня 2019 г.

Исследование проведено способом щупа масс-спектрометрическим методом. Объект в процессе своей работы заполнен гелием до рабочего давления, наружная поверхность объекта контроля контролируется специальным щупом, соединенным с анализатором течеискателя. В результате перепада давления гелий проникает через имеющийся сквозной дефект и в месте течи улавливается щупом и индицируется анализатором течеискателя.

Щуп устанавливается на вход течеискателя. Течеискатель калибруется в «режиме щупа» в соответствии с инструкцией по эксплуатации. Оператор включает режим измерений. Контроль осуществляется перемещением щупа по поверхности изделия с постоянной скоростью, равной 0,10 — 0,15 м/мин. При движении щуп должен находиться на удалении не более 5 мм от контролируемой поверхности. Удаление щупа от контролируемой поверхности более чем на 5 мм резко снижает выявляемость дефектов. Контроль следует начинать с нижних участков изделия с постепенным переходом к верхним.

При увеличении сигнала течеискателя над пороговым значением отмечают места, где сигнал максимален, и фиксируют их. Оператор выявляет течи или устанавливает их отсутствие.

Принцип работы ионизационных вакуумметров

Ионизационный вакуумметр — сложный прибор для контроля давления. На рис. 4.9 изображена манометрическая лампа электронного ионизационного манометра, который в дальнейшем будем называть просто ионизационным. Принцип действия вакуумметров принципиально не отличается от самых ранних конструкций описываемой лампы. Она представляет собой стеклянную колбу 7 с трубкой 8 для присоединения к вакуумной системе и тремя впаянными в нее электродами: катодом 1, анодом 2 и коллектором ионов 3 в виде охватывающего цилиндра, имеющего по отношению к катоду отрицательный потенциал; 4, 5 и 6 — выводы соответственно катода, анода и коллектора.

Рис. 4.9. Манометрическая лампа ионизационного манометра с охватывающим коллектором: 1 — катод; 2 — анод; 3 — коллектор ионов; 4, 5, 6 — выводы соответственно катода, анода и коллектора; 7 — стеклянная колба; 8 — подсоединительная трубка

Эмитируемые накаленным катодом электроны под действием ускоряющего электрического поля устремляются по направлению к сетке, создавая в ее цепи электронный ток. Отметим, что ввиду большого шага сетки не все электроны сразу попадают на сетку, значительная их часть пролетает между ее витками в пространство между сеткой и коллектором ионов, и в основном здесь происходит ионизация газа электронами. Однако при своем движении в этом пространстве электроны находятся в тормозящем поле; не дойдя до коллектора ионов, они останавливаются и начинают движение обратно к сетке; снова значительная их часть проходит между витками сетки и под действием тормозящего поля катода, не долетев до него, поворачивает снова к сетке и т. д.
Каждый электрон может сделать несколько таких колебаний, прежде чем попасть на сетку. Эти колебания играют положительную роль, так как благодаря ним электроны пролетают больший путь и, следовательно, повышается вероятность столкновения их с молекулами газа и ионизации последних; а это ведет к увеличению ионного тока. С той же целью — увеличить путь электронов, пролетающих между витками сетки по направлению к коллектору ионов, — расстояние между сеткой и коллектором делается относительно большим.

Образующиеся положительные ионы под действием ускоряющего для них поля коллектора ионов устремляются к нему и, отдавая ему свой положительный заряд, создают в его цепи ионный ток (отсюда и название коллектора ионов).

На рис. 4.10 дано изображение основных элементов манометрической лампы и упрощенная схема измерительной части ионизационного манометра, в которую входят:

1. цепь катода 1, состоящая из источника питания и реостата 6 для регулировки температуры и, следовательно, эмиссии катода;
2. цепь сетки 2, состоящая из источника питания и прибора 4 для измерения электронного тока;
3. цепь коллектора ионов 3, состоящая из источника питания и прибора 5 для измерения ионного тока.

Обозначим электронный ток через I_e, ионный ток через I_i. Как показал опыт, при достаточно низких давлениях (обычно ниже 1 -10 -3 мм рт. ст.) отношение I_i/I_e, (ионного тока к электронному) прямо пропорционально давлению газа в манометрической лампе.

Рис. 4.10. Упрощенная схема вклю чения ионизационного манометра: 1 — катод; 2 — стекла; 3 — коллектор: 4, 5 — измерительные приборы; 6 — реостат

Таким образом, для измерения давления достаточно при заданном электронном токе измерить ионный ток и разделить на постоянную манометра. Отметим, что правильнее было бы говорить о пропорциональности отношения I_i/I_e, не давлению газа, а его молекулярной концентрации, но для упрощения рассуждений это отношение обычно связывают с давлением.

Необходимо учитывать, что если манометрическую лампу не подвергнуть тщательному обезгаживанию, то в высоком вакууме стенки стекла и электродов будут выделять газы и тем искажать показания манометра в большую сторону. Поскольку катод имеет сравнительно небольшую массу, он легко обезгаживается путем кратковременного прокаливания при рабочей температуре. Сетка прокаливается также пропусканием тока, достаточного для придания ей светло-красного каления; хотя при работе сетка имеет значительно меньшую температуру, но она обладает относительно большей массой и при светло-красном калении ее приходится выдерживать не менее 15 мин. Прогрев коллектора ионов и колбы обычно ограничивается сообщением этим деталям тепла, излучаемого сеткой в процессе ее обезгаживания. При необходимости коллектор ионов можно прогреть токами высокой частоты, а колбу — пламенем газовой горелки.

С другой стороны, хорошо обезгаженные детали манометрической лампы становятся способными поглощать остаточные газы, особенно в ионизованном состоянии. Такое откачивающее действие ионизационного манометра приводит к искажению измеряемых давлений в меньшую сторону; правда, эта ошибка становится заметной только при предельно низких давлениях и в случае малого объема вакуумной системы.

При работе с манометрической лампой нельзя забывать о недопустимости попадания атмосферного воздуха при включенном катоде, так как лампа может немедленно выйти из строя из-за перегорания или сильного окисления катода. При небольшом окислении эмиссию катода часто удается восстановить прокаливанием в хорошем вакууме, при котором поверхность катода освобождается от слоя окислов.

Градуировка ионизационных манометров так же, как и тепловых, выполняется путем сравнения их показаний с показаниями компрессионного манометра, причем пары вымораживаются ловушкой. При градуировке необходимо соблюдать все условия, связанные с режимом прогрева манометрической лампы.
Ввиду прямой пропорциональности между давлением и ионным током (при неизменном электронном токе) градуировочный график (I_i = Ср) получается в виде прямой линии. Благодаря этому градуировку манометра при самых низких давлениях можно не производить; достаточно снять необходимое число точек в области давлений порядка 10 -4 — 10 -6 мм рт. ст. и по ним построить градуировочную прямую, продолжив ее в сторону более низких давлений.

Вакуумметр для манометрического преобразователя ПМТ-2

Вакуумметр для манометрического преобразователя ПМТ-2

Привет Друзья! Не так давно я начал собирать установку ионно-плазменного (магнетронного) напыления (см. мои публикации). В процессе испытания и работы с установкой было принято много решений по ее модернизации и улучшению.

Одним из таких улучшений стало внедрение в установку вакуумметра для измерения глубины вакуума. Виду того, что одним из моих личных требований является мобильность установки и расположение всех ее компонентов внутри корпуса устройства, пришлось отказаться от внешних вакуумметров, например, таких как ВИТ-2. Помимо этого мне необходимо соблюсти момент бюджетности изготовления установки, а покупные вакуумметры достаточно не дешевы. В качестве детектирующего устройства выбрал лампу ПМТ-2, так как был небольшой опыт работы с ней и ее стоимость вполне приемлема.

Итак, как же работает данный манометрический преобразователь? Принцип действия тепловых (термопарных) преобразователей к которым относится лампа ПМТ-2, основан на зависимости молекулярной теплопроводности газа от его давления. Перенос теплоты происходит от тонкой металлической нити, нагреваемой электрическим током, через разреженный газ к вакуумному насосу, находящемуся при комнатной температуре.

В термопарном преобразователе ПМТ-2, в стеклянной колбе закреплены держатели (1), на которых точечной сваркой закреплен V-образный нагреватель из тонкой проволоки (2), к средней точке которого приварен спай платина-платина-родиевая термопара (3).

По нити нагревателя (2) пропускается ток IН постоянной величины, который нагревает спай термопары (3), и в ее цепи возникает термо Э.Д.С. Так как температура нагревателя зависит от давления (плотности) газа, то его изменение будет приводить к изменению Э.Д.С. термопары, которая измеряется милливольтметром (5), а ток накала нити IН регулируется реостатом и измеряется прибором (6).

Лампа ПМТ-2 достаточно грубый измеритель давления заточенный под ВИТ. Калибруется в запаянном состоянии. Ток накала подбирается по шкале ВИТ, 100 делений — ток накала.

После лампа отпаивается (срезается, она как ампула), впаивается в вакуумную систему.

Давайте теперь перейдем к описанию конструкции моего вакуумметра: Прежде чем получать показания с лампы, необходимо запитать ее нить накала, и подать на нее порядка 100мА (112-116мА). Для этого был взят регулятор напряжения купленный на eBay и вместе с последовательно включенным резистором был подсоединен к лампе. Так как регулятор при наименьшем своем значении напряжения давал сильно большое значение по току, то и пришлось использовать резистор.

Измерение вакуума подразумевает измерение напряжения в милливольтовом диапазоне, для этого все на том же торговом портале была куплена не замысловатая электроника: микроконтроллерная плата Ардуино Уно, модуль LCD1602 и АЦП ADS1115 на 16Bit.

В модуле АЦП имеется 4 аналоговых канала, я воспользовался всего одним, подключив входы ардуино SDA и SCL к соответствующим выводам модуля ацп. А термопару лампы подключил к выводам GND и A0 модуля.

На этом всё подключение закончилось и можно переходить к описанию прошивки (скетча):

LiquidCrystal lcd(8, 9, 4, 5, 6, 7);

//выбираем разрешение АЦП

// ads.setGain(GAIN_TWOTHIRDS); // 2/3x gain +/- 6.144V 1 bit = 3mV 0.1875mV (default)

// ads.setGain(GAIN_ONE); // 1x gain +/- 4.096V 1 bit = 2mV 0.125mV

// ads.setGain(GAIN_TWO); // 2x gain +/- 2.048V 1 bit = 1mV 0.0625mV

// ads.setGain(GAIN_FOUR); // 4x gain +/- 1.024V 1 bit = 0.5mV 0.03125mV

// ads.setGain(GAIN_EIGHT); // 8x gain +/- 0.512V 1 bit = 0.25mV 0.015625mV

ads.setGain(GAIN_SIXTEEN); // 16x gain +/- 0.256V 1 bit = 0.125mV 0.0078125mV

float voltage = (adc0 * (0.256/32767.5))*1000;

float pres = 2.217*exp(-voltage/0.3134)+0.175*exp(-voltage/1.97)+543.59*exp(-

Текст прошивки не сложный и не большой, так как в основном применяются библиотечные функции. Основная сложность возникла только при переводе значений напряжения в значения давления, так как эта зависимость не линейна.

Эта градуировочная зависимость была оцифрована и проэкспонирована, тем самым получили формулу по которой достаточно точно производится расчет пониженного давления.

Видео работы устройства:

Что касается дальнейшей реализации моего проекта, то хочу выкинуть из нутра установки насос, все равно его производительности не хватает и места много занимает, вместо него встанет система охлаждения магнетрона (радиатор с кулером и помпа, возможно что еще небольшой герметичный объем с охлаждающей жидкостью). Шланги хочу заменить на нормальные вакуумные армированные (они не сильно дорогие). Конечно же надо встроить систему измерения вакуума с лампой (хотя бы той же ПМТ-2). И наверное самое сложное: реализация нормального основания (оно сейчас у меня текстолитовое) и магнетрона, хочу реализовать все это из алюминия, так как сопрягаемая плоскость основания с колпаком должна быть шлифованной (с текстолитом так не получится), а магнетрон все равно переделывать — не хочу заморачиваться с нержавейкой и сделаю почти все детали из дюрали на ЧПУ портальном станке, который уже собран. Так же хочу выкинуть белый диск с ЛАТРа и вместо него поставить привод, ШД например, и управлять потенциометром с приборной панели. А совсем в далеком будущем вообще избавиться от ЛАТРа.

Применение и технические характеристики вакуумметров ВИТ, ТВ, ВТ

Предназначение вакуумметра – измерение давления разряженных газов. Предприятия вакуумных агрегатов производят выпуск мембранных, классических, емкостных, терморезисторных, термопарных, изоляционных и вакуумметров Пирани.

С помощью классических манометров можно измерять низкие давления в вакуумной системе. В качестве рабочей жидкости для измерения служит масло. Для их эффективного использования производители не рекомендуют использовать в системах насыщенных паром. Это может повредить герметичность вакуумметра классического типа. Как правило, в вакуумных системах используются азотные ловушки, чтобы изолировать жидкостные манометры. Они представляют собой специальные устройства, которые наполняются жидким азотом и производят вымораживание паров вещества вакуумметра. С помощью классического манометра можно измерять давление в пределах 10-100000 Па.

Емкостные вакуумметры измеряют емкость конденсатора во время изменения промежутка между обкладками. В системе имеется несколько мембран, одна из которых имеет гибкую форму. При повышении или понижении давления в системе она начинает изгибаться, тем самым действуя на объем емкости конденсатора. Процесс градуировки, произведенный с емкостным манометром, позволяет использовать в вакуумных системах для измерения уровня давления. С помощью емкостного манометра можно измерять давление в пределах 1-1000 Па.

Схема работы терморезисторных вакуумметров – мостовая. Она представляет собой систему, которая стремится к поддержанию постоянного сопротивления и температуры терморезистора, что и позволяет измерять полученное давление. Более высокое давление газа приводит повышению мощности, которая необходима, чтобы поддерживать его температуру в неизменном состоянии. Треморезисторный вакуумметр работает за счет прямой зависимости давления от напряжения на датчике. С помощью терморезисторного манометра можно измерять давление в пределах от 1 до 110000 Па.

В термопарных вакуумметрах измерение давление основано на показателе охлаждения теплопроводности. Нагреваемый провод в измерительном приборе контактирует с термопарой. При высоких показателях давления теплопроводность среды уменьшается, а температура повышается. После градуировки милливольтметр с термопарой используется как измерительный прибор для давления в вакуумной систем. С помощью термопарных вакуумметров можно измерять давление от 1 до 1300 Па.

Ионизационный вакуумметр, соответственно работает за счет действия ионизации газов. Он состоит из диода, на анод которого подается положительное напряжение, а на коллектор отрицательное. Уменьшение давления в системе заставляет уменьшаться числу атомов, которые могут ионизироваться. Это приводит к уменьшению ионизационного тока, что улавливает измерительный прибор. С помощью ионизационных вакуумметров можно измерять давление от 1-10 до 10 Па.

Вакуумметры ВИТ

Вакуумметры ВИТ – это ионизационные термопарные инструменты для измерения давления. Серия установок отечественного производителя состоит из агрегатов, способных измерять в широком диапазоне.

Основные типы вакуумметров ВИТ:

Измерение давления вакуумметром ионизационно-термопарного типа ВИТ-1А и ВИТ-1А-П производится комбинированной системой, составной частью которой является ионизационная манометрическая лампа типа ЛМ-2. Кроме этого в ней используется термопарные манометрические лампы, электронная измерительная схема и схема, обеспечивающая питание нагревателя термопар с измеряющим э.д.с. Установка ВИТ-1А это настольный вариант вакуумметра, тогда как ВИТ-1А-П разработан как панельное устройство. Принцип работы обеих установок одинаков, так же как основные технические параметры. Они отличаются только по габаритам и форме.

Одной из самых популярных установок для измерения давления является ионазационно-термопарный вакуумметр ВИТ-2. В нем может использоваться манометрический преобразователь ПМТ-2, ПМТ-4 и ионизационный ПМИ-2. За счет этого он является универсальным при использовании в системах с широким диапазоном от 1х10-5 до 20 Па. Ионизационный преобразователь позволяет производить измерения в системе с давлением от 1х10-3 до 1х10-7 Торр. Тремопарный преобразователь Позволяет измерять давление от 2х10-1 до 1х10-3 Торр.

Вакуумметр ТВ

Вакуумметры ТВ применяются в различных сферах промышленности, теплоснабжении, водоснабжении, вентиляции и машиностроении. Являются составными частями вакуумных систем. С помощью вакуумметров данного типа можно измерять давления от -0,1 до 0Мпа. Они способны выдерживать температуру вакуумной среды, которая достигает +150 градусов.

К вакуумметрам ТВ относятся установки:

• Вакуумметр ТВ-110;
• Вакуумметр ТВ-310;
• Вакуумметр ТВ-5;
• Вакуумметр ТВ-320;
• Вакуумметр ТВ-510;
• Вакуумметр ТВ-610;

На различных промышленных предприятиях популярность имеют вакуумметры ТВ-510 и ТВ-610. Основным их предназначением является измерение избыточного, вакуумного давления в системах с жидкими, невязкими средами, максимальная температура в которых может достигать 150 градусов. При изменении давления в системе чувствительный элемент прибора показывает показатель при помощи стрелочного циферблата.

Для подбора вакуумметра в определенную систему необходимо учитывать значение предела измерения, необходимые размеры, пределы точности измерения и особенности крепления.

Вакуумметр ВТ

Терморезисторными вакуумметрами производится измерение в сухой среде или с содержанием азота. Установки эффективны при измерении давлений различного диапазона. Вакуумметры ВТ просты в эксплуатации и не требуют технического обслуживания. Самым распространенным вакуумметром данного типа является ВТ-3. В установке имеется 2 поддиапазона. Давление отчитывается по градуировочной кривой. Вакуумметр имеет длительный срок службы, равный 1000 часов. Мощность, которая потребляется им составляет 35 ВТ, а в размерах 32х19х27 см при массе в 5 кг.

Стрелочные вакуумметры

Эффективным средством измерения и контроля давления в вакуумных системах является стрелочный вакуум. Как правило, они используются в системах с низким давлением. Активно используются промышленными и лабораторными системами.

К достоинствам стрелочных вакуумметров можно отнести:

• универсальное применение с различными типами газов и смесей;
• высокий уровень точности, который не может превышать 2% в рабочем диапазоне;
• на стрелочные вакуумы атмосферное давление не виляет;
• простота конструкции и эксплуатации;
• простота установки в системы различного типа;
• удобная шкала измерения с крупными цифрами;
• надежность и долговечность;

Электроконтактный вакуумметр

Особенностью электроконтактных вакууметров является то, что они не только измеряют давление и выводят его на экран, но и способны сигнализировать о достижении определенной отметки, которая задается оператором. В процессе их действия работу осуществляют контакты, размыкаясь и замыкаясь, по принципу реле датчиков. Контактные группы, которыми оснащены электроконтактные вакуумметры работают на два передела: минимальный и максимальный. На различных предприятиях осуществляется производство различных по сочетаемости контактов.

Вакуумметры Пирани

Принцип действия данных вакуумметров основан на увеличении и уменьшении сопротивления металла. Чем меньше в системе теплопроводность, тем меньше давление, а сопротивление металла наоборот уменьшается при повышении температуры. Название этому инструменту дано в честь Марцелло Пирани, который изобрел его.

В их состав входят такие элементы, как: металлическая нить, металлическая труба. Последняя, как правило, изготавливается из патина. Нить, которая находится в подвешенной трубе, соединяется с электрической цепью. Она и является элементом, с которого снимается давление перед калибровкой.

Вакуумметры являются необходимым составляющим любой вакуумной системы. Измерения давление в оборудовании значительно облегчает проведение операций. Благодаря их наличию можно поддерживать необходимый уровень давления и, при необходимости, изменять его.